产品详细介绍


EBM01-30N12 电子显微镜高压电源
EBM01-30N12 是波尔高压电源公司研发的高稳定性电子显微镜高压电源,专为扫描电子显微镜(SEM)设计。产品采用平衡式倍压整流电路,电路对称性佳,高压输出纹波系数小,元器件使用量少,可满足高压电源高稳定度输出、小型化的发展需求。
一、技术参数
1. 输入电源
电压范围:220Vac ±10%,50/60Hz,单相
2. 输出参数
| 参数项 | 指标 |
|---|---|
| 输出电压范围 | 0~30kV,负极性 |
| 输出束流范围 | 0~400uA |
| 最大输出功率 | 12W |
| 输出纹波 | < 0.07% rms(< 20 ppm/°C) |
3. EHT 稳定性与调节率
| 参数项 | 指标 |
|---|---|
| 电压负载效应 | ≤ 0.05% / 满载变化 |
| EHT 输入调整率 | ≤ 0.01% |
| 温度系数 | < 20 ppm/°C |
| 长期稳定性 | ≤ 0.01% / 8 小时 |
| 电流负载效应 | ≤ 0.01% |
| 电流电源变化效应 | ≤ 0.05% |
| 电流温度系数 | < 20 ppm/°C |
4. 收集极、闪烁体、灯丝电源
| 部件 | 参数范围 / 定值 |
|---|---|
| 收集极 | -400V ~ +400V |
| 闪烁体 | +8kV(固定值) |
| 灯丝电流 | 0~4A |
二、保护与功能
- 配备自动软启动功能;
- 具备过压 / 过流 / 过温 / 打火自恢复保护;
- 自带 Interlock 互锁功能。
三、环境条件
工作温度:0°C – 40°C 储存温度:-20°C – +85°C
湿度:10%–90%,无冷凝
四、机械结构
尺寸:5.25”(3U) H×19”W×13.39”D(13.3cm×48.3cm×34cm) 重量:约 13.5kg 冷却方式:自然冷却
五、主要特性
- 低纹波、高稳定性,适配扫描电子显微镜使用需求;
- 体积小巧,为标准 19 英寸机架安装尺寸,安装灵活性高;
- 搭载光纤通讯接口,信号传输更稳定;
- 自带 Interlock 互锁功能,使用安全性高;
- 可根据客户需求,定制接口及相关参数。
六、应用范围
专为扫描电子显微镜(SEM) 设计,适配扫描电镜的高压供电需求。
七、控制与接口
- 采用标准光纤通讯 RS232 接口,通过 D-SUB9 连接器实现对 EHT、灯丝、收集极和闪烁体的控制;
- 面板 POWER 钮子开关为 EHT 连锁控制,正常使用需拨至 ON 档位,否则无供电输出。
D-SUB9 互锁功能引脚定义
| 引脚 | 引脚定义 | 说明 |
|---|---|---|
| 1 | GND | / |
| 2、6 | +24V | 主供电 + 24V 端口 |
| 3 | +24V Col | 收集极互锁控制端口 |
| 4 | +24V Sci | 闪烁体互锁控制端口 |
| 5、8 | +24V Fil | 灯丝互锁控制端口 |
| 7 | +24V EHT | EHT 互锁控制端口 |
| 9 | NC | / |
| 引脚 | 功能 |
|---|---|
| 2、3 | 收集极使能控制 |
| 2、4 | 闪烁体使能控制 |
| 2、7 | EHT 使能控制 |
| 5、6 | 灯丝使能控制 |



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